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Circuito Integrado é um dispositivo microeletrônico, que consiste de muitos transistores e outros componentes interligados capazes de desempenhar muitas funções. A fim de elevar a integração em sistemas integrados, em busca da otimização máxima do desempenho, tem-se observado uma acentuada redução nas dimensões destes dispositivos. A importância da integração está no baixo custo e no alto desempenho, além do tamanho reduzido dos circuitos aliados à alta confiabilidade e estabilidade de funcionamento. Para isto, tem sido necessário um cuidado maior nas etapas de limpeza industrial. Neste contexto, destaca-se como etapa fundamental em um processo de microfabricação, a limpeza das lâminas de Silício. Para garantir uma limpeza eficaz, sem a presença de impurezas, adota-se um processo padrão constituído de uma sequência de etapas, usualmente denominado RCA, Radio Corporation of America.

Tendo como referência o texto acima, e com base nos conhecimentos sobre processo de remoção de contaminantes da superfície de lâminas de silício em microeletrônica, elabore um manual para um processo de limpeza química RCA, na forma de texto dissertativo, abordando necessariamente para cada etapa de limpeza: o(s) tipo(s) de contaminante(s) removido(s); a composição química da solução de limpeza padrão utilizada; 1 (um) procedimento de segurança adotado, quando for necessário; e o monitoramento da limpeza.